轉(zhuǎn)載，作者：氣體圈子
前驅(qū)體材料一般呈氣態(tài)或易揮發(fā)液態(tài)，是任何高端芯片功能薄膜的開端，是半導(dǎo)體制造的核心材料之一。8月27日-28日，氣體圈子俱樂部全國氣體產(chǎn)業(yè)巡回調(diào)研第四站來到合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司，該公司以美國海歸博士為核心團(tuán)隊，是一家致力于先進(jìn)電子級半導(dǎo)體薄膜（ALD，CVD）材料研發(fā)生產(chǎn)，以及先進(jìn)功能薄膜解決方案開發(fā)的高新科技企業(yè)。公司掌握代表世界最先進(jìn)水平的納米功能薄膜材料技術(shù)，具有完全自主的知識產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)了國內(nèi)的空白，打破了海外的壟斷。公司創(chuàng)始人、首席技術(shù)官李建恒博士向氣體圈子俱樂部分享了前驅(qū)體材料目前的市場情況、公司技術(shù)研發(fā)能力以及未來企業(yè)發(fā)展規(guī)劃，隨后對公司研發(fā)、測試、分析和生產(chǎn)等現(xiàn)場進(jìn)行了參觀和交流。
就目前我國國內(nèi)市場而言，由于終端需求的遲滯和技術(shù)積累的問題，有能力掌握ALD前驅(qū)體材料技術(shù)并商業(yè)化的企業(yè)并不多，大量的前驅(qū)體材料依賴進(jìn)口，無法有效滿足國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展的需求。公司CEO汪穹宇博士和李建恒博士一致認(rèn)為，隨著高端芯片設(shè)計復(fù)雜性的提升和更先進(jìn)制程要求的提高，ALD技術(shù)一定會成為新的技術(shù)趨勢，對高純前驅(qū)體材料的依賴一定會引領(lǐng)電子化學(xué)品發(fā)展的方向?；谶@樣的市場環(huán)境，安德科銘憑借對終端器件及制造工藝的深刻理解，和對前驅(qū)體材料研發(fā)的深厚經(jīng)驗，自主研制出多種全新分子結(jié)構(gòu)的ALD前驅(qū)體材料，同時實現(xiàn)了多批次穩(wěn)定的電子級純度（>6N）生產(chǎn)，解決了某些功能薄膜沉積速率低、蒸氣壓過低、固體顆粒干擾等困擾行業(yè)的問題，并順利實現(xiàn)了功能驗證，已經(jīng)準(zhǔn)備好進(jìn)一步推向市場。
目前，安德科銘已經(jīng)根據(jù)多種元素開發(fā)出了50余種不同的前驅(qū)體材料，面向多個領(lǐng)域的應(yīng)用。面對成熟的需求，安德科銘可以直接出售根據(jù)既定功能和使用場景研發(fā)出來的前驅(qū)體材料；面對新興領(lǐng)域及特殊應(yīng)用場景的產(chǎn)品需求，安德科銘會以項目的形式與客戶進(jìn)行合作，共同研發(fā)相應(yīng)功能的前驅(qū)體材料，并提供材料-設(shè)備-工藝的完整功能薄膜制備解決方案，這不僅為客戶節(jié)省了研發(fā)成本，同時也使得功能薄膜制備的整個過程更加可控、高效。
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