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前驅(qū)體合成及放大實(shí)驗(yàn)室,配備先進(jìn)的化學(xué)材料表征設(shè)備,如氣相,液相,ICP-MS等,為我們向廣大客戶提供國際水準(zhǔn)的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

合成實(shí)驗(yàn)室
ICP-MS
氣相、液相
通風(fēng)櫥、旋蒸
手套箱
放大實(shí)驗(yàn)室
氣體管路
精餾塔
干燥箱
50L釜


薄膜工藝及應(yīng)用開發(fā)實(shí)驗(yàn)室使用千級(jí)凈化間,擁有多臺(tái)原子層沉積及薄膜表征設(shè)備,同時(shí)廣泛開展與高校及企業(yè)的合作,資源組合優(yōu)化,使我們能夠?yàn)榭蛻籼峁谋∧すに囬_發(fā)到器件整合優(yōu)化等單項(xiàng)服務(wù)或整體解決方案

應(yīng)用開發(fā)實(shí)驗(yàn)室
氣體輸送系統(tǒng)
PEALD系統(tǒng)
橢偏儀
FT-IR
外部設(shè)備平臺(tái)
UV-Vis
XPS
AFM
XRD/XRR
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