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合作開發(fā)

豐富的薄膜工藝開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，ALD薄膜應(yīng)用開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，以及完備的薄膜檢測手段

ALD薄膜沉積

可代加工沉積包含但不限于：
氧化物：HfO₂，ZrO₂，Ta₂O₅，Nb₂O₅，Al₂O₃，TiO₂，SiO₂……
氮化物：TiN，TaN，MoN，WN……
金屬單質(zhì)薄膜：Co，Cu，Ni，Mo，W……

真空設(shè)備及零配件

產(chǎn)品包含各類成品真空設(shè)備，定制化成套真空設(shè)備，真空相關(guān)零配件等